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1994年,ISO 10360 國際標準《座標測量機的驗收、檢測和複檢檢測》開始實施。這個標準說明瞭座標測量機性能檢測的基本步驟。ISO主要包含三個主要參數:長度測量最大允許示值誤差(MPEE)、最大允許探測誤差(MPEP)對於掃描測量,採用最大允許掃描探測誤差(MPETHP) 


長度測量最大允許示值誤差(MPEE)
在測量空間的任意7種不同的方位,測量一組5種尺寸的量塊,每種量塊長度分別測量3
所有測量結果必須在規定的MPEE值範圍內。 


最大允許探測誤差(MPEP) 
25
點測量精密標準球,探測點分佈均勻。最大允許探測誤差MPEP值為所有測量半徑的最大值。

最大允許掃描探測誤差(MPETHP)
沿標準球上4條確定的路徑進行掃描。最大允許掃描探測誤差MPETHP值為所有掃描半徑的最大差值。
備註:THP的說明必須包括總的測量時間,例如:THP = 1.5um (掃描時間是72 秒)THP說明瞭沿已知路徑在密度最大的點上的掃描特性。